Paskirtis: Elektrochemijos boksas skirtas struktūrų kristalinio ir multikristalinio Si, bei A(III)B(V) puslaidininkinių medžiagų paviršiuje formuoti elektrocheminio ėsdinimo metodika. Naudojant elektrocheminio nusodinimo metodika formuojami metalų sluoksniai ant puslaidininkinių ir elektrai laidžių padėklų.
Elektrochemijos boksą sudaro:
1. Traukos spinta Merci;
2. Programuojamas potenciostatas / galvanostatas Autolab PGSTAT302N (U < 30V, I= 10nA ÷ 1A, I= ± 0.2%);
3. Programuojamas nuolatinės srovės šaltinis Keysight E36106A (U < 100V, I< 0.4A, I= ± 0.05%).
Elektrochemijos procesų metu bandiniai gali būti apšviečiami skirtingo bangos ilgio ir intensyvumo šviesa tiek iš viršutinės tiek iš apatinės pusės. Proceso metu palaikoma pastovi temperatūra ir ėsdiklis gali būti purtomas ultragarsu.
Darbų pavyzdžiai:
