Elektrinių parametrų charakterizavimo sistema, sudaryta iš Keithley 4200-SCS puslaidininkinių parametrų analizatoriaus ir Summit zondavimo stoties. Šia įranga galima atlikti įprastus DC, I-V, C-V bei ultra-greitus impulsinius matavimus. Matavimai atliekami keturiais nepriklausomais zondais, elektriniai parametrai suskaičiuojami automatiškai. Bandiniai tiriami kontroluojamos temperatūros (nuo 20 iki 350°C) bei apšvietimo (tamsa, 400 nm, 460 nm, 523 nm, 621 nm, 735 nm ir baltos šviesos) aplinkose, sauso oro arba azoto dujų atmosferose. Optinio mikroskopo didinimas iki x400 kartų. Išsamesnis Keithley 4200-SCS galimybių aprašas yra nurodytas gamintojų puslapyje.
-
Nuolatinės srovės matavimai – nuo 1 pA iki 1 A, įtampos rezoliucija – 1 µV
-
Iki 10 ns impulsų trukmės impulsinės srovės matavimai
-
CVU matavimai – nuo 1 pF (esant 10 MHz dažniui) iki 1 µF (esant 1 kHz dažniui)
-
Trijų bei keturių terminalų puslaidininkinių įtaisų analizė
-
Užtūros oksido charakterizavimas (nustatomas oksido storis, plokščių juostų būsenos įtampa bei talpa, slenkstinė įtampa, tūrinio oksido krūvis, legiravimo koncentracija)
-
Karštųjų krūvininkų injekcijos matavimai
Reikalavimai bandiniams:
Bandinių skersmuo turi būti iki 20 cm, aukštis iki 1 cm.
