SPM paskirtis:
1) Matuoti įvairių paviršių 3D topografiją ir nustatyti paviršiaus mechaninių, elektrinių bei magnetinių savybių pasiskirstymą nanometriniu tikslumu.
2) Manipuliuoti nanoobjektais paviršiuje.
3) Tirti lokalų elektrinio lauko ir/arba mechaninio spaudimo poveikį paviršiui.
4) Atlikti įvairios prigimties jėgų (pvz. tarpmolekulinių ryšių) spektroskopiją.
Matavimai atliekami ore arba skystyje, kambario temperatūroje.
Matuojami dydžiai: 3D paviršiaus topografija, elektrinių krūvių pasiskirstymas paviršiuje, elektronų išlaisvinimo darbas, elektrinio potencialo pasiskirstymas veikiančiame prietaise/prototipe, magnetinių domenų pasiskirstymas ir orientacija, Jungo modulis, tarpmolekulinių jėgų dydžiai, adhezijos jėgos, sluoksnių storiai.
Reikalavimai bandiniams: maksimalūs bandinio matmenys – aukštis iki 1 cm, skersmuo iki 20 cm; maksimalus skenuojamos plotas 90×90 µm2, Z aukštis (nelygumai paviršiuje) – 6.5 µm.
