Molekulinių pluoštelių epitaksijos (MPE) sistema Veeco GENxplor
Veeco GENxplor moksliniams tyrimams ir technologinei plėtrai skirtoje molekulinių pluoštelių epitaksijos sistemoje pritaikytas patikimas GEN10 MPE sistemos auginimo kameros dizainas bei didelis proceso lankstumas, puikiai tinka kiek gerai žinomų, tiek ir naujųjų medžiagų technologijos vystymui. GENxplor MPE sistema yra skirta aukštos kokybės III-V junginių epitaksiniam auginimui ant padėklų iki 3 colių diametro esant labai aukštam auginimo parametrų valdymo tikslumui. MPE reaktoriuje yra įdiegta 10 medžiagų šaltinių:
Specifikacijos
III-os grupės elementai
- Indis;
- Galis (2 šaltiniai);
- Aliuminis;
V-os grupė elementai
- Arseno aukštatemperatūrinio skaldymo šaltinis su vožtuvu;
- Stibio aukštatemperatūrinio skaldymo šaltinis su vožtuvu;
- Bismutas
Legiravimo šaltiniai
- Silicis;
- Telūras;
- Berilis.
Auginimo kameroje yra įrengti integruotas joninis ir titano sublimacinis siurbliai bei uždaro ciklo helio kriogeninis siurblys, tuo tarpu paruošimo kameroje yra įrengtas joninis siurblys, o pakrovimo kameroje turbomolekulinis siurblys. Ši galinga ir efektyvi ultraaukšto vakumo siurbimo sistema padeda išlaikyti itin švarų vakuuminį foną auginimo ir paruošimo kamerose leidžiant auginti itin aukštos kokybės medžiagas, tinkančias panaudojimui optoelektronikoje.
Molly® programinė įranga apjungia palengvintą auginimo programų rašymą, automatizuotą auginimo valdymą bei nenutrūkstamą duomenų įrašymą.