Elektroninio spindulio (E-beam) garinimo įrenginys skirtas plonų metalų sluoksnių formavimui aukštame vakuume.
Specifikacijos
E-Beam garinimo įrenginį sudaro „Glove box“ ir auginimo kamera. Pirmiausiai bandiniai įnešami į „Glove box“, kuris užpildytas azoto dujomis. Auginimo kamera skirta bandinių padengimui plonais įvairių medžiagų sluoksniais bei kontaktų garinimui.
- Kameroje vakuumo lygis – 8x10-8 Torr.
- Turime aukso (Au), aukso germanio mišinio (AuGe12%), germanio (Ge), nikelio (Ni), titano (Ti) bei aliuminio (Al) šaltinius.
- Maksimalus bandinių dydis iki 2 colių diametro.
- Bandinių laikikliai turi po keturis prispaudimus, todėl jei bandiniai mažesnių matmenų, vienu metu galima sudėti iki 4 bandinių (bendras plotas neturi viršyti 2 colių).
- Taip pat yra galimybė padėklus pakaitinti iki 150 oC.
- Bandinių laikiklį galima sukti (0 – 28 aps/min), kas užtikrina dengiamo sluoksnio tolygumą ant bandinio.
- Plono sluoksnio dengimo greitis ir storis matuojamas su Telemark kontroleriu (Model 880). Jo parametrai: atlieka dešimt matavimų per sekunde, tikslumas – storiui ±0.5% plius 1 mažiausiai reikšmingas skaitmuo, jutiklio kristalo darbinis dažnis 6 MHz, Hz (5 MHz – 6 MHz). Dažniausiai naudojamas dengimo greitis – 2 A/s.
- Bandinių, turinčių savo sudėtyje cinko (Zn), naudojimas griežtai draudžiamas!
