Skip to content
PFI
  • Naujienos
  • Apie
    • Apie PFI
    • Publikacijos
    • Projektai
  • Įranga
    • Epitaksija
      • Molekulinių pluoštelių epitaksijos kambarys I
      • Molekulinių pluoštelių epitaksijos kambarys II
    • Plonų sluoksnių nusodinimas
      • Magnetroninio dulkinimo įrenginys Angstrom Engineering EvoVac
      • Elektroninio spindulio (E-beam) garinimo įrenginys (VST Model TFDS–870)
      • VUP magnetroninio dulkinimo ir terminio garinimo įrenginiai
    • Švarių patalpų zona
    • Litografija
    • Ėsdinimas
      • Cheminių procesų kambarys
      • Elektrocheminių procesų laboratorija
    • Terminiai procesai
      • Spartaus atkaitinimo krosnis Unitemp RTP-100-HV
      • Spartaus atkaitinimo krosnis Unitemp RTP-1300
      • Terminių procesų krosnis ir PECVD reaktorius SVCS
    • Charakterizavimas
      • Skenuojančio zondo mikroskopas
      • Elektrinių matavimų stendas
  • Paslaugos
  • Kainynas
  • Užsakymas
  • Registruotiems vartotojams
  • Užrašinė
  • English

Plonų sluoksnių nusodinimas

  • Elektroninio spindulio (E-beam) garinimo įrenginys (VST Model TFDS–870)
  • VUP magnetroninio dulkinimo ir terminio garinimo įrenginiai
  • Magnetroninio dulkinimo įrenginys Angstrom Engineering EvoVac

Copyright © 2024 PFI. All rights reserved.