Mikroskopo litografijoje atnaujinimas

  1. Pekeistas kameros perėjimas. Didesnis didinimas ir tikslumas matuojant matmenis mažiems dydžiams stebimies naudojant CCD kamerą.
  2. Pakeista mikroskopo programinė įranga į senesnę, bet licenzijuotą profesionalią versiją.