Chemijos laboratorijoje, esančioje ISO7 švaros klasės zonoje, galima atlikti puslaidininkinių bei hibridinių padėklų cheminį apdorojimą, polimerinių ir kitų sluoksnių iš tirpalų dengimą centrifūginio užnešimo metodu, bei šių sluoksnių džiovinimą. Laminarinio srauto traukos spintoje galima ruošti padėklus padidintos švaros sąlygomis įvairioms technologinėms operacijoms – lazerinei, bei optinei litografijai, sluoksnių dengimui magnetroninio dulkinimo, bei elektronų pluoštelio garinimo metodais ir kt. Naudojantis turimais ištekliais padėklams, kurių dydis neviršija 4“, galima atlikti įvairias cheminio apdorojimo procedūras:
-
Padėklų valymas nuo organinių teršalų;
-
Cheminis oksido sluoksnio pašalinimas;
-
Mezos ėsdinimas;
-
Fotorezisto atkėlimas.
Laboratorijoje esančiose traukos spintose galima saugiai paruošti tirpalus naudojant koncentruotas rūgštis, bei šarmus, taip pat ir tirpalus sluoksnių formavimui centrifūginio užnešimo metodu. Sluoksnių, su įvairiais tirpikliais, džiovinimą, bei kietinimą galima atlikti džiovinimo krosnyse, naudojant temperatūrą iki 350°C.