Magnetroninio dulkinimo įrenginys VUP-5M naudojamas įvairių storių (3 ÷ 300nm) metalinių (Au, Ag, Cu, In, Mo, Ni, Pd, Pt, Ru, Sn, Ti, Ir)–arba/ir metalo oksidų ( In2O3, SnO2, TiO2) sluoksnių auginimui ant plokščių paviršių (S< 6cm2) magnetroninio dulkinimo būdu iš metalinių taikinių. Trijų magnetronų sistema leidžia paeiliui auginti trijų skirtingų medžiagų sluoksnius, neišhermetinant darbinio tūrio. Pagal poreikius bandinių tvirtinimo staliukas gali būti kaitinamas iki 3500C.
Vakuuminio garinimo įrenginys VUP-5 naudojamas įvairių storių (10nm÷250nm) metalinių (Ag, Au, Au:Ge, Cr) sluoksnių garinimui terminiu būdu iš molibdeno arba volframo garintuvų. Neišhermetinant darbinio tūrio galima paeiliui garinti iš dviejų garintuvų. Maksimalus bandinio skersmuo – 10cm. Pagal poreikius bandinių tvirtinimo staliukas gali būti kaitinamas iki 3500C.