Magnetinio dulkinimo \u012frenginys turi 20x20x20 coli\u0173 kamer\u0105 su keturiais magnetronais ir Kaufman and Robinson EH400 5A jon\u0173 patranka. Vienas i\u0161 magnetron\u0173 veikia tik radijo da\u017enio (RF) re\u017eime, kitas tik nuolatin\u0117s srov\u0117s re\u017eime (DC), tre\u010dias turi perjungimo galimyb\u0119 tarp RF ir DC, o ketvirtas yra didel\u0117s galios impuls\u0173 magnetronas (HiPIMS), galintis pasiekti 1MW maksimali\u0105 gali\u0105 atskiram impulsui. Tam magnetrone \u012fdiegti trys maitinimo \u0161altiniai: 1.2kW DC Glassman Sputter, Advanced Energy 5kW Pinnacle Plus DC (HiPIMS) ir 300W RF VII Power Supply. Tokiu b\u016bdu gali b\u016bti formuojami sluoksniai i\u0161 laid\u017ei\u0173 ir izoliuojan\u010di\u0173 med\u017eiag\u0173, i\u0161 magnetini\u0173 taikini\u0173 ir i\u0161skirtini\u0173 savybi\u0173 sluoksniai, reikalaujantys garinamos med\u017eiagos didelio jonizacijos laipsnio. Prie\u0161 sluoksni\u0173 nusodinim\u0105 pavir\u0161ius gali b\u016bti valomas toje pa\u010dioje kameroje bombarduojant j\u012f jonais, u\u017etikrinant proceso nepertraukiamum\u0105. Taip pat jon\u0173 bombardavimas gali b\u016bti naudojamas viso sluoksnio pa\u0161alinimui. Garinamo sluoksnio storio kontrol\u0117 vykdoma galios-laiko re\u017eime arba dviem QCM sensoriais. Kriogeninis siurblys u\u017etikrina ne blogesn\u012f nei 9*10-8 Torr vakuum\u0105. Didelis bandini\u0173 laikiklis leid\u017eia garinti bandinius iki 12 cm skersmens, o kaitinti juos proceso metu galima iki 600\u00b0C. Laikiklio atstumas iki taikinio gali b\u016bti kei\u010diamas, o jo sukimasis (0-50 rpm) u\u017etikrina sluoksnio tolygum\u0105 visame bandinyje. Bandini\u0173 \u012fkrovimas vykdomas per LoadLock sistem\u0105 \u2013 atskir\u0105 vakuumin\u0119 kamer\u0105 izoliuot\u0105 nuo kameros pneumatiniu vo\u017etuvu. Pa\u017eangus duj\u0173 sl\u0117gio paskirstymo reguliatorius leid\u017eia kontroliuoti 3 skirting\u0173 duj\u0173 mi\u0161inius (O2, N2, Ar). \u0160iuo metu gali b\u016bti naudojamos med\u017eiagos: Al, Ni, Cr, Ti, Sn, In, Cu.<\/p>\n\n\n\n
Si\u016blomos paslaugos:<\/p>\n\n\n\n
1. Pavir\u0161iaus valymas\/\u0117sdinimas bombarduojant argono arba deguonies jonais<\/p>\n\n\n\n
2. Metalini\u0173 kontakt\u0173 formavimas<\/p>\n\n\n\n
3. Plon\u0173 metalo oksid\u0173 sluoksni\u0173 garinimas<\/p>\n\n\n\n
4. Dviej\u0173 skirting\u0173 med\u017eiag\u0173 lydinio formavimas<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"
Magnetinio dulkinimo \u012frenginys turi 20x20x20 coli\u0173 kamer\u0105 su keturiais magnetronais ir Kaufman and Robinson EH400 5A jon\u0173 patranka. Vienas i\u0161 magnetron\u0173 veikia tik radijo da\u017enio (RF) re\u017eime, kitas tik nuolatin\u0117s srov\u0117s re\u017eime (DC), tre\u010dias turi perjungimo galimyb\u0119 tarp RF ir DC, o ketvirtas yra didel\u0117s galios impuls\u0173 magnetronas (HiPIMS), galintis pasiekti 1MW maksimali\u0105 gali\u0105 atskiram…<\/p>\n